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ULVAC爱发科二手溅射设备Entron EX W300

发布日期:2022-07-01

ULVAC爱发科多腔溅射设备Entron EX W300是在Al、Cu、高熔点金属布线工序中有很多实绩的单片式多室对应平台。适应下一代流程的SIS(Self-Ion Sputter)-PVD、金属CVD/ALD、DRY预处理模块的组合且可提供最佳性价比。

特点:

基于我们传统型号 ENTRON-W300 / W200 系列的最新型号,改进主要旨在提高生产力。

最多可安装 8 个工艺(PVD、ALD、CVD 等),外加 2 个(脱气、冷却)模块。

配备我们的新型搬运机器人,机械吞吐量达到 100wph 或更高。

我们提供最适合专用工艺或小型晶圆厂的 S 型(单一型)和支持大型晶圆厂的 T 型(串联型),并灵活应对客户的生产计划。

可配备监控和管理设备运行状态的ED-PMS系统和非接触式膜厚测量设备MESEC-BIT。

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