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SAWATEC二手现货 匀胶机SM-200

发布日期:2022-06-23

SM-200具有高度的均匀性和可重复性,以及操作方便和操作舒适性。创新的RCCT系统(圆闭室技术)有效地减少了旋转基底上的空气湍流,提高了涂层的均匀性,因为封闭室内的大气,溶剂迅速被饱和,挥发更慢,使涂层过程更均匀,显著节省了消耗的介质。

HP-200是为光刻、MEMS和类似应用中的精密热处理工艺而开发的。默认温度范围设计为高达250°C。设定温度和温度分布更精确,这意味着可以实现高涂层质量。HP系列具有高度的一致性和高精度的工艺重复性。它可用于直径达200mm,最大厚度为18mm的基板。

SAWATEC二手现货 匀胶机SM-200

基础配置功能:

 最多可编程50个节目,每个节目有24个片段

 重复流程的快速启动功能

 具有触摸屏面板的用户友好流程配置

 过程参数:速度、加速度、时间

 可选择旋转方向(CW、CCW)

 RCCT系统(圆形密闭室技术)

 为最多4条介质线准备的动态分配臂

 基板的手动装卸

 通过真空和安全联锁保护固定基板

 过程完成时的声音信号

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