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SUSS 二手涂胶显影机 MicroTec ACS200

发布日期:2022-07-20

Suss MicroTec ACS200 是一种自动光刻胶涂层和烘烤站,具有盒到盒基底操作。它支持在各种基材上旋涂和喷涂光刻胶。该工具提供完整的抗蚀剂涂层功能,包括高达 250 °C 的热板烘烤和背面冲洗自动去除边缘珠。

规格/能力

Gyrset 旋涂和 Alta 喷涂模块。

250 °C 可编程加热板。

自动去除边缘珠和背面冲洗。

使用信息

支持的样本量

最大晶圆直径:200 毫米(8 英寸)。

支持的小件:是的。

最大基材厚度:5 毫米。

支持的晶圆直径:

50 毫米(2 英寸)。

75 毫米(3 英寸)。

100 毫米(4 英寸)。

150 毫米(6 英寸)。

200 毫米(8 英寸)。

支持的光掩模尺寸:

125 毫米 x 125 毫米。

150 毫米 x 150 毫米。

典型应用

用于光学图案曝光的光刻胶涂层。

用于掩模生产的光刻胶涂层。

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青岛国际博士后创新创业园6号楼7F
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