Suss MicroTec ACS200 是一种自动光刻胶涂层和烘烤站，具有盒到盒基底操作。它支持在各种基材上旋涂和喷涂光刻胶。该工具提供完整的抗蚀剂涂层功能，包括高达 250 °C 的热板烘烤和背面冲洗自动去除边缘珠。
规格/能力
Gyrset 旋涂和 Alta 喷涂模块。
250 °C 可编程加热板。
自动去除边缘珠和背面冲洗。
使用信息
支持的样本量
最大晶圆直径：200 毫米（8 英寸）。
支持的小件：是的。
最大基材厚度：5 毫米。
支持的晶圆直径：
50 毫米（2 英寸）。
75 毫米（3 英寸）。
100 毫米（4 英寸）。
150 毫米（6 英寸）。
200 毫米（8 英寸）。
支持的光掩模尺寸：
125 毫米 x 125 毫米。
150 毫米 x 150 毫米。
典型应用
用于光学图案曝光的光刻胶涂层。
用于掩模生产的光刻胶涂层。
