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日立新型超高分辨SU8600扫描电镜

发布日期:2022-05-19

一、设备用途:用于半导体样品的形貌、结构研究及样品的元素分析。

二、运行环境:

2.1  房间温度:15 - 25℃

2.2  相对湿度:小于60%

2.3  适用电源:单相,100V±10%,50/60Hz,5kVA,要求连续供电

2.4  地线:接地电阻小于100Ω

日立新型超高分辨SU8600扫描电镜

三、技术规格:

3.1  组成:主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统),自动变压器,冷却循环水系统,计算机,标准工具及附件。

▲3.2  电子枪:冷场发射电子枪(含有Mild Flash技术 ,柔性)

*3.3  分辨率:SE分辨率:0.6nm@15kV (工作距离4mm) ,0.7nm@1kV (工作距离1.5mm)

*3.4电子束束流:≤20nA

3.5 放大倍率: 底片倍率:最小≤20倍,最大≥2,000,000倍,底片和显示器倍率可同时显示

▲3.6 加速电压

加速电压:0.5 ~ 30kV (10V/step)

着陆电压:0.01 ~ 20kV (10V/step)

最小加速电压:0.01kV

3.7 减速功能:样品台减速功能

3.8 自动电子光路对中调整:

自动电子束对中,自动光阑对中,自动像散对中,自动对焦调整,自动亮度对比度调整,自动像散调整

3.9 物镜光阑: ≥4孔,连续可调,具有自清洁可加热式光阑

*3.10 信号检测系统:

3.10.1 多功能信号探测器:有高位Inlens探测器、低位探测器及ExB信号选择系统,

3.10.2信号类型:可以接收SE、HA-BSE(高角背散射)、LA-BSE(低角背散射),SE+BSE实时混合,可以按100%任意比例选择接收SE和BSE信号,

3.10.3 BSE成像:2kV 以下也可以成BSE像,适合易损伤样品和易荷电样品,还原样品真实细节

3.11 样品室

*3.11.1  样品台驱动: 五轴机械优中心自动马达驱动;移动范围: X=0-110mm,Y=0-110mm,Z=1.5-40mm,R=360°,T=-5°~70°

3.11.2 样品尺寸:最大直径≥150mm,最大高度36mm

*3.12 样品换样方式

3.12.1 含有样品交换仓:支持放置直径≥150mm样品的交换仓

3.12.2规范化操作流程:预抽室端面透明,可观察到样品交换过程,具有样品安装警示灯提醒

3.13.支持真空转移预接接口,可支持后续加载真空转移系统

3.14 非接触防碰撞保护功能

3.15样品室多扩展接口:≥14个

3.16 预留EBSD的信号传输接口

3.17光镜导航功能:导航相机

3.18数字图像记录系统

3.18.1 图像处理软件:可以进行图像的处理、测量和编排实验报告

3.18.2 数据记录:照片包括编号,加速电压,标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离等

3.19 扫描速度:

Rapid扫描:Rapid1~Rapid2 2种

Fast扫描: Fast1~Fast2 2种

Slow扫描: Slow1~Slow7 7种

CSS 扫描:  CSS1~CSS7 7种

Reduce 扫描:高,中,低,宽区快速,宽区慢速;    5种

*3.20 图像显示:双显示器双大画面显示(1280×960像素),6通道图像实时显示

*3.21 图像储存:640×480, 1280×960,2560×1920,5120×3840,10240×7680(高分辨拍照模式)像素,照片包括编号,加速电压,标尺,放大倍率,日期,时间,工作距离等信息

3.22 图像类型: TIFF, TIFF(16bit), BMP或JPEG

3.23 信号/图像处理功能:

像素积分改善S/N,框架积分,彩色图像显示,2色合成图像显示(保存图像),伪彩色图像显示(保存图像),针对保存图片的图像处理(灰阶变换,伽马调整,各种空间过滤处理)

3.24 实时图像伽马处理(Live Gamma)

3.25 支持后续扩展全自动操作智能软件,预留接口

3.26.真空系统:

3.26.1 排气控制:全自动真空阀

3.26.2 真空泵:分子泵260L/s×1;干泵×1;离子泵45L/s×2,NEG×1台

3.26.3 真空度:电子枪部分优于2x10-7Pa;样品室部分优于2x10-3Pa

3.27 样品更换抽真空时间:≤1.5分钟

3.28 真空规:全量程真空规×1,皮拉尼规×2

3.29 保护:断电、漏电、真空保护

3.30 配置离子溅射仪

4.能谱仪

4.1 探测器:硅漂移(SDD)电制冷探测器,采用场效应管(FET)一体化集成设计的高速SDD芯片;探测器有效芯片面积≥60 mm2,超薄窗设计,独立真空;在150,000CPS条件下Mn-Kα保证优于129eV,轻元素分辨率:C-Kα/57eV, F-Kα/67eV

4.2 信号处理单元与探测器采用分立式设计,最大输入计数率1,500,000CPS, 输出600,000CPS

4.3 元素分析范围: Be4~Cf98

4.4谱定性分析:可自动标识谱峰,可设定自动标定的元素范围,可进行谱重构,对重叠峰进行可视化谱峰剥离,并对重叠峰区域各种可能的元素进行搜索与再确认

4.5配备完善而精准的原子数据库,包含所有的分析线系(K, L, M 和 N线系)


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