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特征尺寸测量用扫描电镜CD-SEM S-8840

发布日期:2022-05-24

特征尺寸测量用扫描电子显微镜CD-SEM S-8840,适用于6英寸和8英寸晶圆的线宽测试。


设备配置

晶片尺寸:68 英寸(直径:150mm 200mm
晶片厚度:0.4mm~1mm 兼容
硅片单元尺寸:0.2~2inch
卡匣:25 /批次
电子枪 Electron Gun
真空腔室 Vacuum Chember
真空泵 Vacuum Pump
透镜系统 Lens System
X-Y 工作台(X-Y Workplate)
承片台 8 (Pick-up platform 8 inches )
硅片传输系统 8 ( wafer transmission system 8 inches)
硅片自动对准系统 wafer Auto alignment system
操作界面, 主控过程人机操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )
计算机系统,整机主控计算机和系统控制应用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )

监视器, 图形和控制界面显示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)

设备性能

图像分辨率:5nm2
CD 量测范围:0.1 ~ 10um
CD 重复性: 3σ≤5 nm or ≤±1 %
倍率: x 1000 ~ 150000 (SEM 图像)x 110 (光学显微镜图像)
焦深:≥1.0mm at 80000xmagnification

高纵横比接触孔图像≥12

CD-SEM S-8840

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