特征尺寸测量用扫描电子显微镜CD-SEM S-8840，适用于6英寸和8英寸晶圆的线宽测试。
设备配置
晶片尺寸：6、8 英寸（直径：150mm 200mm）
晶片厚度：0.4mm~1mm 兼容
硅片单元尺寸：0.2~2inch
卡匣：25 片/批次
电子枪 Electron Gun
真空腔室 Vacuum Chember
真空泵 Vacuum Pump
透镜系统 Lens System
X-Y 工作台（X-Y Workplate)
承片台 8 寸 (Pick-up platform 8 inches )
硅片传输系统 8 寸 ( wafer transmission system 8 inches)
硅片自动对准系统 （wafer Auto alignment system）
操作界面, 主控过程人机操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )
计算机系统,整机主控计算机和系统控制应用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )
监视器, 图形和控制界面显示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)
设备性能
图像分辨率：5nm2
CD 量测范围：0.1 ~ 10um
CD 重复性： 3σ≤5 nm or ≤±1 %
倍率： x 1000 ~ 150000 (SEM 图像)； x 110 （光学显微镜图像)
焦深：≥1.0mm at 80000xmagnification
高纵横比接触孔图像≥12
