TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202可以全自动检查在晶片上图案化的芯片和在扩展前切割的晶片(表面朝上/背面朝上)中的微小异物和缺陷,并以芯片为单位确定合格与否。
环境条件:
温度范围:20~27℃;
湿度范围:50%±20%以内;
环境洁净度:1000级;
安装底板每个轴振幅:<64μm;
TOPCON拓普康芯片外观检测设备Vi4202可以全自动检查在晶片上图案化的芯片和在扩展前切割的晶片(表面朝上/背面朝上)中的微小异物和缺陷,并以芯片为单位确定合格与否。
环境条件:
温度范围:20~27℃;
湿度范围:50%±20%以内;
环境洁净度:1000级;
安装底板每个轴振幅:<64μm;