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KLA无图案晶圆缺陷检测系统Surfscan SP2

发布日期:2022-06-23

Surfscan® SP2和SP2XP系统是KLA革命性的Surfscan SP1平台的第二代产品,用于无图案晶圆检测。Surfscan SP2采用了开创性的紫外线(UV)激光技术、新的暗场光学技术和先进的算法,能够发现小至37nm的缺陷,在相同的灵敏度下,其产量比上一代系统快2倍。SP2专为射频、汽车、SiC、GaN、LED等新兴技术和高达≥4xnm设计规则的成熟工艺节点而设计,在整个半导体生态系统中,为衬底、IC、设备和材料制造商提供其所需的工艺和设备的认证与监测。

KLA无图案晶圆缺陷检测系统Surfscan SP2

Surfscan系列无图案检测仪旨在实时捕获裸晶圆、光滑和粗糙薄膜和堆叠、光阻和光刻堆叠上的关键缺陷,并对其进行分类。通过及早发现和识别这些关键缺陷及表面质量问题,Surfscan系统能够更快地识别工艺和设备问题,从而加速量产投产、提高良率并增进盈利。SP2 Pro系列设备既能满足研发探索应用,也同样适用于在一个完整的制造环境中为关键设备监测提供检测点,所有这些都可以由这一个系统完成。

产品特点:

▪ 直入射和斜入射光学照明模式为捕获各种不同的缺陷和表征晶圆质量提供了一系列不同的方法

▪ 多种光束尺寸/产量/灵敏度模式可针对每个应用进行优化并提供其所需的最佳性能

▪ 对硅衬底设备进行认证和工艺监控,可为200mm/300mm晶圆格式提供>37nm的灵敏度

▪ 高灵敏度模式扩展了研发应用的能力

▪ SURFimage™数据通道能够识别如完整晶圆图像中的表面微粗糙度局部变化之类的空间扩展的表面异常

▪ 重新启动产品制造以提高可维护性和供应的可预测性

▪ 采用标准晶圆传送系统并可实现灵活配置


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