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SUSS MA8 双面接触式光刻机

发布日期:2022-05-19

德国suss公司的ma8光刻机,兼容4、6、8英寸wafer,Led光源,3个独立波长(g、h、i),可自定义。可以提供正面和双面套准。

比起小型高压汞灯光源,led光源无论是寿命,还是光强,均匀性,可编程性等,都是超越性的。

接触式光刻机的对准精度都差不多,在500纳米左右。

比起上一代ma6,电脑化程度大幅提升,没有千分尺等手动部件,全部通过马达控制,带有自动套准功能。

可以同时作为键合预对准设备,配合suss键合机

很适合mems工艺的研发使用,或者也可以做小批量的生产

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