德国suss公司的ma8光刻机，兼容4、6、8英寸wafer，Led光源，3个独立波长(g、h、i)，可自定义。可以提供正面和双面套准。
比起小型高压汞灯光源，led光源无论是寿命，还是光强，均匀性，可编程性等，都是超越性的。
接触式光刻机的对准精度都差不多，在500纳米左右。
比起上一代ma6，电脑化程度大幅提升，没有千分尺等手动部件，全部通过马达控制，带有自动套准功能。
可以同时作为键合预对准设备，配合suss键合机
很适合mems工艺的研发使用，或者也可以做小批量的生产
德国suss公司的ma8光刻机，兼容4、6、8英寸wafer，Led光源，3个独立波长(g、h、i)，可自定义。可以提供正面和双面套准。
比起小型高压汞灯光源，led光源无论是寿命，还是光强，均匀性，可编程性等，都是超越性的。
接触式光刻机的对准精度都差不多，在500纳米左右。
比起上一代ma6，电脑化程度大幅提升，没有千分尺等手动部件，全部通过马达控制，带有自动套准功能。
可以同时作为键合预对准设备，配合suss键合机
很适合mems工艺的研发使用，或者也可以做小批量的生产
