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二手尼康Nikon 14年产 ARF浸入式光刻机 NSR-S630D

发布日期:2022-06-09

Nikon ARF浸入式光刻机 NSR-S630D进一步提高了NSR-S622D的精度和生产率,它采用了以高精度和生产率着称的流线型平台,适用于10纳米范围内的工艺量产(多重图案化*1适配)。它是一种开发设备。除了进一步提高在多重图案化工艺中很重要的重叠精度外,还提高了产量。

ARF浸入式光刻机NSR-S630D通过提高投影镜头性能、使用光栅尺位置测量编码器以及改进温度空调系统,实现了更高的吞吐量以及MMO * 2的进一步改进。以2.5纳米以下的MMO和每小时250张(96次)的吞吐量实现了极高的精度和生产率,有助于客户尖端设备生产线的稳定量产。

Streamline 平台的主要特点

1. 显着提高叠加精度的测量系统:Bird's Eye Control

除了已经采用的结合编码器和干涉仪的混合系统用于晶圆载物台位置测量外,还使用二维编码器进行分划板载物台位置测量,以减少空气波动对每个位置测量的影响舞台... 结果,叠加精度得到了很大的提高。

2. 显着提高吞吐量的新测量技术:Stream Alignment

五眼* 3的FIA(现场图像对准)可在短时间内进行对准测量。即使在测量靠近所有镜头的多个点时,也可以最大限度地减少吞吐量的下降。

  • * 3FIA 5 眼型:对准显微镜已从传统的 1 眼型更改为 5 眼型(5 单元型)。

3. 提高可维护性的新模块化结构:Modular 2 Structure

通过使设备配置成为分层模块化结构,客户现场的启动时间缩短了,零件更换变得更加容易。结果,可维护性得到了极大的提高。

nsr-s630d主要性能参数

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