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二手尼康Nikon ArF浸没式光刻机NSR-S621D

发布日期:2022-06-09

NSR-S621D 已开发用于大批量制造 22 nm 工艺节点(能够通过进一步提高久经考验的 NSR-S620D 的精度和生产率来处理双图案*1 )。尼康计划将 NSR-S621D 定位为其旗舰工具并扩大销售。

Nikon ArF浸没式光刻机NSR-S621D经过验证的Streamlign平台,实现了2nm的极高叠印精度和200wph的吞吐量,并在硬件和软件方面进一步改进,为客户的生产线提供最佳和高效的解决方案。

主要性能

NSR-S621D主要性能

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