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ASML二手翻新现货ArF光刻机XT:1250D

发布日期:2022-06-14

ASML二手现货ArF光刻机XT:1250D

ASML二手现货ArF光刻机部分信息

-193nm

-轨道预警信号(APR):APR启用

-避免跟踪输入/输出冲突,在APRs后提高AS:避免跟踪

-已启用输入/输出冲突

-正在关闭的磁盘类型:不存在正在关闭的磁盘

-防止膜过宽或错位的十字线加载的保护措施:

用于干式WSs的禁用连续夹紧晶圆台:不存在

-浸没机卡盘12上的晶圆台类型:Zerodur版本1

-晶圆级配置:晶圆级类型2配置

-晶圆载体位置:右侧

-每个载体的晶片数:25

-晶圆轨迹:存在

-晶圆台类型:双卡盘

-下部对接板:存在

-WS天平质量:不锈钢

-WH机器人功率放大器:CPM 20

-晶圆台快速刚性X移动电子设备:存在

-晶圆台反射镜阻挡电子设备:存在

-曝光时的干涉仪轴版本:31

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