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ASML二手KrF光刻机PAS8500/850C翻新现货

发布日期:2022-06-24

ASML KrF光刻机PAS5500/850C 248nm步进-扫描系统可实现110nm的批量生产。自从PAS5500/850首次引入以来,PAS5500/850系列已经成为110nm逻辑和110nm内存应用的全球标准。PAS5500/850C可以配置许多选项,使在制造中实现超低k1,扩展PAS5500/850C的应用远低于110nm。

主要功能和优点

可变0.8-NA深紫外投影透镜

生产分辨率低至110 nm。

天线II照明器

在最大吞吐量的照明模式下提供最大的灵活性。

PAS 5500步进扫描车身

与i-line和193 nm Step和扫描工具的通用性,用于经济混合和匹配。

雅典娜高级校准与十字线蓝色校准相结合

提高了各种工艺的对准精度。随着时间的推移,性能极为稳定。

包括20 W KrF激光技术和可变激光频率控制

将高激光功率与高效利用激光脉冲相结合,实现高吞吐量

激光操作成本。

ARMS批量流式处理

提供连续流程制造

参数信息:

ASML二手KrF光刻机PAS8500/850C翻新现货参数表

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