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ASML二手KrF光刻机PAS5500/850D

发布日期：2022-06-24

ASMl KrF光刻机PAS 5500/850D 248nm步进扫描系统支持110nm量产。自ASMl KrF光刻机PAS 5500/850首次推出以来，PAS 5500/850系列已成为110nm逻辑和110nm存储器应用的全球标准。ASMl KrF光刻机PAS 5500/850D可配置多种选项，在制造中实现超低k1，从而将 PAS 5500/850D的应用扩展到远低于110nm的波长。

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