PAS5500/8TFH-A KrF步进扫描系统是一种专用的光刻工具，用于在125毫米、150毫米和200mmAlTiC晶片上生产薄膜头(TFH)。
TFH环境的PAS主体和特定校准改进，是为当前和未来的技术节点的TFH生产制定了新的标准。
TFH制造涉及打印小于100纳米的隔离特征，这要求极低镜头像差水平。PAS 5500/8TFH-A使用经验证的超低像差KrF镜头，该镜头来自PAS主体上的XT平台，确保了优异的性能和较低的拥有成本。AlTiC晶圆的低导热性意味着轨道上的最大吞吐量受到限制，使PAS 5500/8TFH有更多的时间用于对准和晶圆稳定。此外，PAS 5500/8TFH-A进一步改善了动态性能。
总之，这些将在AlTiC晶圆上实现业界领先的覆盖和缝合性能。
主要性能和优势：
智能启动
通过作业定义，实现用户定义的晶圆容纳、X中的曲折布线和系统启动，结合TFH特定的离线数据分析软件，为小批量AlTiC晶圆提供稳定的生产性能。
成熟的AlTiC晶圆处理
成熟的1.2 mm厚（125 mm、150 mm或200 mm直径）和2.0 mm厚（125 mm和150 mm直径）AlTiC晶片处理能力。
KrF Starlith 870投影镜头，可变NA高达0.80
超低像差水平可实现90 nm以下的隔离线成像
联通、ADE
UNICOM支持自动优化每个照明设置的狭缝均匀性。同时，自动DOE交换器（ADE）最多可容纳5个衍射光学元件（DOE）
PAS 5500步进扫描机身
改进的动力学和干涉仪控制可实现一流的性能。
多次曝光技术
使用多个遮罩启用不同的照明模式和成像设置，并允许用户定义的图像序列顺序。
