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ASMK二手翻新KRF光刻机PAS 5500/8TFH-A

发布日期:2022-06-27

PAS5500/8TFH-A KrF步进扫描系统是一种专用的光刻工具,用于在125毫米、150毫米和200mmAlTiC晶片上生产薄膜头(TFH)。

TFH环境的PAS主体和特定校准改进,是为当前和未来的技术节点的TFH生产制定了新的标准。

TFH制造涉及打印小于100纳米的隔离特征,这要求极低镜头像差水平。PAS 5500/8TFH-A使用经验证的超低像差KrF镜头,该镜头来自PAS主体上的XT平台,确保了优异的性能和较低的拥有成本。AlTiC晶圆的低导热性意味着轨道上的最大吞吐量受到限制,使PAS 5500/8TFH有更多的时间用于对准和晶圆稳定。此外,PAS 5500/8TFH-A进一步改善了动态性能。

总之,这些将在AlTiC晶圆上实现业界领先的覆盖和缝合性能。

主要性能和优势:

智能启动

通过作业定义,实现用户定义的晶圆容纳、X中的曲折布线和系统启动,结合TFH特定的离线数据分析软件,为小批量AlTiC晶圆提供稳定的生产性能。

成熟的AlTiC晶圆处理

成熟的1.2 mm厚(125 mm、150 mm或200 mm直径)和2.0 mm厚(125 mm和150 mm直径)AlTiC晶片处理能力。

KrF Starlith 870投影镜头,可变NA高达0.80

超低像差水平可实现90 nm以下的隔离线成像

联通、ADE

UNICOM支持自动优化每个照明设置的狭缝均匀性。同时,自动DOE交换器(ADE)最多可容纳5个衍射光学元件(DOE)

PAS 5500步进扫描机身

改进的动力学和干涉仪控制可实现一流的性能。

多次曝光技术

使用多个遮罩启用不同的照明模式和成像设置,并允许用户定义的图像序列顺序。

ASMK二手翻新KRF光刻机PAS 5500/8TFH-A参数表

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