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日立Hitachi二手电镜CD-SEM CS4800

发布日期:2022-06-22

CS4800 提供高质量的 SEM 成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作,旨在提高现有生产线的生产力和运营效率,并提高客户的过程控制能力。此外,CS4800 可以配置为处理两种不同的晶圆尺寸,客户可以将其切换到新的晶圆传输系统。日立分析仪器计划扩大对碳化硅 (SiC) 和氮化镓 (GaN) 等各种晶圆材料的支持,以满足客户对新型半导体或电子设备的多样化需求。

Hitachi二手电镜CD-SEM CS4800

随着 CS4800 的开发,日立分析仪器将为广泛的 4、6 和 8 英寸晶圆厂提供可持续的 CD 测量解决方案,并将支持物联网应用、可穿戴设备和下一代的新兴技术设备功率器件。

主要特点:

  • 工具占用空间和 GUI *4旨在轻松更换现有工具。
  • 提供经过验证的高精度测量和最新的计量应用。
  • 自动光轴对准将减少操作员错误。
  • 具有强大模式匹配的高吞吐量、自动化配方测量操作。
  • 提供多种晶圆尺寸选项。

主要参数:

测量精度 1 nm (3σ)(使用日立标准晶圆)
晶圆尺寸 直径 100、150 和 200 毫米
自动装载机 2个端口
设备尺寸(主体)以毫米为单位 1180(W) × 2500(D) × 1990(H)mm
Hitachi二手电镜CD-SEM CS4800

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