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AMAT 半导体检测设备 SEMVision G2

发布日期:2022-06-22

SEMVision G2 的检测组装和处理使微小和浅缺陷的高质量地形图像成为可能。高动态范围检测、背散射电子收集和能量过滤可实现高纵横比成像。

AMAT 半导体检测设备 SEMVision G2

基本信息:

型号:AMAT SEMVision G2 +

描述:缺陷审查系统

晶圆尺寸:300mm

序列号:多个系统可用

保修:按原样或按客户规格翻新

参数规格:

1 KeV 时的分辨率:3 nm

焦点图/焦点偏移:90% 的缺陷,Delta Z < 3 μms

自动缺陷偏移/XY 图:95% 的缺陷 Delta X < 1.5 μm 和 Delta Y < 1.5 μm

EDX 分辨率:4nm

晶圆产量:12 晶圆 / 小时

缺陷吞吐量:>1000 个缺陷/小时

正面清洁度:0.013 PWP / cm2 > 0.2 μm 处的尺寸

基本配置:

带 ULPA 过滤器的 FFU

扫描电镜柱 G2

EDX 柱

45 度立柱倾斜

包括晶圆旋转选项

载物台晶圆支架 3 PIN

对准器光学显微镜 X5、X20、X100

晶圆处理:

装载机:带 RFID 的 AMAT ADO

晶圆尺寸:300mm

ETU 300mm

国际电联 300 毫米

软件信息:

软件版本(WS、IP/ODC SW、MEC、WHC):v5.1.500 WorkStation SGI FULE

软件版本(EDX):VTG_5.0.107

系统性能:

Pal (On the OTW, cassette / Slot 1: Delta X= 500 μm; Delta Y= 500 μm

ITU Repeatability: Delta X and Delta Y < 20 μm

Stage accuracy: Delta X and Delta Y < 1.5 μm

MTR: Delta X= 50; Delta Y= 30 μm

其他设施信息:

最大额定负载电流:8 A

满载电流:10A

中断电流:10,000 安培 IC

电源电压:1-120 VAC,1-Ph,3 线 208 V,3-Ph,5 线,50/60 Hz

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