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佳能开始销售用于 FPA-6300ES6a KrF 扫描仪的新“10 级”生产力升级选项

发布日期:2022-06-29

东京佳能股份有限公司于2022年6月13日宣布,已开始销售其FPA-6300ES6a KrF半导体光刻设备的新“10级”生产率升级选项。此次升级使产能提升至300wph,这是目前300毫米晶圆KrF半导体光刻系统中业界最高的生产水平。

随着对半导体器件的需求,对半导体光刻设备的需求也在不断增长。自2012年4月佳能公司推出FPA-6300ES6a KrF扫描仪以来,佳能一直在开发提高生产率的选项。当配备新的10级生产力升级选项时,FPA-6300ES6a的生产力水平达到300 WPH。此外,佳能公司计划在2023年发布升级版本,使FPA-6300ES6a也能支持200mm晶圆。

佳能开始销售用于 FPA-6300ES6a KrF 扫描仪的新“10 级”生产力升级选项

通过提高阶段和传输系统速度,新的10级生产力升级减少了曝光处理时间并实现了行业最高水平的300 WPH产能。此外,通过实施一种新的控制系统,可以减少由高速平台运动引起的振动,从而保持高精度。此外,使用新的10级生产力升级选项以及可选覆盖精度升级,系统可以实现覆盖精度高达4纳米5的高速制造。

已购买的FPA-6300ES6a6系统也可升级该系统,该系统目前正在大规模生产工厂地板上运行。在不需要更换额外硬件的情况下进一步提高了生产力

10级生产力升级选项将于2022年8月初推出。

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